Post kimyasal mekanik parlatma temizleyici (- cmp'den sonra SIC temizleyici) otomatik ısıtma, sabit sıcaklık dolaşım cihazı, ultrasonik temizleme cihazı, hızlı bir sprey - deşarj köpürme taşma cihazı ve bir boru hattı ve elektrik kontrol sistemine sahiptir. Fonksiyonları PLC tarafından kontrol edilir ve ayarlanabilir temizleme süresi, bir temizlik tamamlama istemi, sıcaklık kontrol ayarlaması, yüksek ve düşük sıvı seviyesi alarmları, taşma koruması ve sızıntı algılama alarmı içerir.
Ürün parametreleri
1. üretim akışı:
Yük (Manuel) → Ultrasonik Temizleme Aracısı Tank → QRD tankı → Ultrasonik Temizleme Aracısı Tankı → QDR tankı → HF tankı → QDR tankı → Boşaltma (Manuel)
2. Materyaller:
Metal Çerçeve: Sus 304
ICE - Krem PP Board
Tank Malzemesi: PPN + SUS 316
3. TRANSPORTATION:
Manuel
Ürün özellikleri ve uygulamaları
Kimyasal mekanik parlatma prosedüründen sonra kalıntı bulamaç ve daha büyük parçacıkları SIC gofretlerinin yüzeyinden çıkarır.
Ürün detayları
◆ 1. Kapasite:
6 "× 1 kaset (25 adet)
8 "× 1 kaset (25 adet)
◆ 2. Parti zamanını temizleme:
1 parti/10 dakikadan az veya eşittir (temizlik prosedürü süresi ayarlanabilir).
Uygulama senaryoları
◇ Ekim 2024'te - CMP'den sonra SIC temizleyici görevlendirildi ve Tiancheng Semiconductor için müşteri sitesinde çalışmaya başladı.
Popüler Etiketler: - cmp'den sonra sic temizleyici, - cmp üreticilerinden sonra Çin sic temizleyici
